钒氧化物是一种极其复杂的金属氧化物，且具有丰富的相结构，每一种相都有其独特的用途，如VO₂高温R相到低温M相之间发生结构转变同时伴随着4-5量级的电阻率变化，高温下的VO₂薄膜对红外光具有极好的截至性能，因而在光电器件、节能窗、低功耗场效应管等具有潜在的应用前景；VO₂存在的B相是其钒氧化物众多的亚稳相之一，VO₂(B)的层状结构以及纳米量级下具有可靠的性质而越发引起关注，例如VO₂(B)相纳米线或纳米针用于阴极的Li电池中，同时VO₂(B)具有高温度的电阻系数可用于辐射热计中的红外吸收层。然而，在透明且廉价的衬底上制备薄膜形式的钒氧化物一直是个挑战，我们利用反应离子溅射在(0006)取向的蓝宝石衬底上成功制备出V₂O₃，VO₂(M1)，VO₂(B)等高质量的外延单晶薄膜。

产品：VOx外延薄膜（厚度可定制）

制备方法：反应离子溅射；衬底：二氧化钛衬底TiO2